三维光学轮廓仪的使用原理,有谁知道?

康啵得儿 2024-05-18 05:30:13
最佳回答
三维光学轮廓仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给mems、半导体材料、太阳能电池、**疗工程、制**、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。 20210311
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