光刻机和蚀刻机有什么区别?

Roterry 2024-05-25 18:28:10
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光刻机:光刻机按照用途划分,有被厂商用于生产芯片的前道光刻机,有被厂商用于封装的后道光刻机(封装光刻机),有被厂商用于制造led产品的投影光刻机。一般地,我们时常所谈到的光刻机,指的是前道光刻机。厂商在生产芯片的过程中,需要利用光刻机将掩膜版(**业者们称作光罩)上的电路图形“复印”到硅晶圆片上。光刻工艺,指的是厂商在平整的硅片上构建半导体mos管和电路的基础,利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将掩膜版上的电路图形传递到单晶的表面或介质层上,形成有效的图形窗口或功能图形。由于在晶圆的表面上,电路设计图案直接由光刻技术决定,因此光刻工艺也是芯片制造中最核心的环节。光刻工艺的价值巨大,整个光刻工艺的设备有匀胶显影设备和光刻设备,光设机的价格是最昂贵的。在行业中有影响力的光刻机制造厂商包括荷兰的asml,日本的尼康和佳能等。光刻机:光刻机按照用途划分,有被厂商用于生产芯片的前道光刻机,有被厂商用于封装的后道光刻机(封装光刻机),有被厂商用于制造led产品的投影光刻机。一般地,我们时常所谈到的光刻机,指的是前道光刻机。厂商在生产芯片的过程中,需要利用光刻机将掩膜版(**业者们称作光罩)上的电路图形“复印”到硅晶圆片上。光刻工艺,指的是厂商在平整的硅片上构建半导体mos管和电路的基础,利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将掩膜版上的电路图形传递到单晶的表面或介质层上,形成有效的图形窗口或功能图形。由于在晶圆的表面上,电路设计图案直接由光刻技术决定,因此光刻工艺也是芯片制造中最核心的环节。光刻工艺的价值巨大,整个光刻工艺的设备有匀胶显影设备和光刻设备,光设机的价格是最昂贵的。在行业中有影响力的光刻机制造厂商包括荷兰的asml,日本的尼康和佳能等。 20210311
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