芯片表面al电极的作用是什么?

自贡然哥 2024-05-26 15:42:52
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n电极为ti/al/ni/au结构的垂直led芯片.由于电极结构中含有容易迁移的金属al,在高电流密度下存在可靠性风险.通过改变al层的厚度,研究了其对芯片可靠性的影响.结果表明,当al的厚度增加时,芯片的可靠性将会改善.当厚度达到2000a时,高温高湿老化条件下,没有明显的光衰出现.改善机制可能是al层变厚使得al原子受到更强的al-al键束缚,迁移不容易发生. 20210311
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