溅射靶材的基本信息

2024-05-18 00:53:41
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磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式,2013年的蒸发镀膜方式,其很多方面的优势相当明显。作为一项已经发展的较为成熟的技术,磁控溅射已经被应用于许多领域。溅射技术 溅射是制备薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体... 20210311
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