半导体光刻技术的硅片直径300mm 要适合多代技术的需求

你的刘先森?? 2024-05-27 14:23:37
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经济利益的驱动是硅片直径由200mm向300mm转移的主要因素,300mm的出片率是200mm的2.5倍,单位生产成本降低30%左右。...西门子公司和motorola公司于1998年率先在德国德勒斯登... 20210311
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