硅片都做那几个方面的检测??

?菻小T 2024-06-05 20:15:24
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检测硅片尺寸检测单晶硅片的破损程度,并进行分级:破损小于30mm,能够切成6英寸wafer;破为两片,无法使用;没有破损;硅片尺寸156*156mm;检测速度要求:1.5秒/片;动作流程:硅片运动到检测位置后,相机快速拍照,然后进行处理,在这个过程中设备不停;硅片运动速度:约150mm/s; 20210311
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