上海微电子装备的光刻机能达到什么水平?

长发绾君心 2024-05-24 14:35:50
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光刻机十年突破 知道世界上只有几家公司能生产光刻机,包括比利时和日本,上海的这一家能到达什么技术水平,比如说多少纳米级别的? 20210311
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