在金属薄膜表面pecvd二氧化硅应该没问题吧,粘附性应该可以把?在金属氧化物薄膜上面沉积呢?

JoLee❤️ 2024-05-25 12:02:14
最佳回答
pecvd二氧化硅对金属的粘附性不错,淀积的也还行,但是的源得控制好,而且像no或no2这类的气体都有毒性,但实是可实现的。我是用磁控长的sio2,在al上长长出来效果也不错,粘附性也很好,就是时间长了点。希些对你有所帮助! 20210311
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