传上海微电子研发出11nm光刻机,请问是真的吗?有谁知道?

做回自我 2024-05-27 13:36:11
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也就意味着上海微电子装备有限公司在2021年才可以制造出...但是在固体深紫外光源的研发上是处于国际领先地位的,最明显的例子就是kbbf晶体。另外光刻机比较重要的镜头,国内也... 20210311
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