pecvd工作原理

宝贝農 2024-05-25 12:52:38
最佳回答
pecvd--等离子体化学气相沉积法  为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积(pecvd).  实验机理:  辉光放电等离子体中:电子密度高(109~1012/cm3)  电子气温度比普通气体分子温度高出10-100倍  虽环境温度(100-300℃),但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解,离解和离化,从而大大提高了参与反应物的活性。  因此,这些具有高反应活性的中性物质很容易被吸附到较低温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。  优点:基本温度低;沉积速率快;成膜质量好,**少,不易龟裂。  缺点:1.设备投资大、成本高,对气体的纯度要求高;  2.涂层过程中产生的剧烈噪音、强光辐射、有害气体、金属蒸汽粉尘等对人体有害;  3.对小孔孔径内表面难以涂层等。 20210311
汇率兑换计算器

类似问答
  • 分配阀的工作原理
    • 2024-05-25 01:44:25
    • 提问者: 未知
    分配阀的工2113作原理:发动机飞轮旋转连接着变矩器5261的弹性4102板,弹性板与罩轮相连,罩轮又1653与泵轮的分动齿相连,分动齿旋转带动工作泵轴齿轮旋转,液压工作泵开始工作。分配阀的作用是改变液压油的流动方向来控制动臂油缸的提升和下降,转斗油缸的上翻和下翻。液压泵把打出来的高压...
  • 直流屏的工作原理
    • 2024-05-25 06:07:43
    • 提问者: 未知
    市电的时候给电池充电,2113停电的时候能输出dc110v或者5261dc220v给储能电机提4102供直流电的设备。直流屏介绍1653: 直流屏,接通交流电源测试交流双电源切换装置是否工作正常,双电源切换装置的下口电压是否正常。交流部分测试正常后,依次闭合充电模块的交流开关,观察模块是否正常启动并...
  • nor flash工作原理
    • 2024-05-25 22:52:43
    • 提问者: 未知
    nor flash有专用的地址引脚来寻址,较容易与其它芯片进行连接,另外还支持本地执行,应用程序可以直接在flash内部运行,可以简化产品设计。4、可靠性 nand flash相邻单元...
  • 红外传感器的工作原理,原理图说明
    • 2024-05-25 11:34:34
    • 提问者: 未知
    利用红外线的物理性质来进行测量的传感器。红外线又称红外光,它具有反射、折射、散射、干涉、吸收等性质。任何物质,只要它本身具有一定的温度(高于绝对零度),都能辐射红外线。红外线传感器测量时不与被测物体直接接触,因而不存在摩擦,并且有灵敏度高,反应快等优点。红外线传感器包括光学系统、检测元件和转换电路。光学系统按结构不同可分为透射式和反射式两类。检测元件按工作原理可分为热敏检测元件和光电检测元件。热敏...
  • 均分器的工作原理
    • 2024-05-25 07:17:38
    • 提问者: 未知
    均分器的工作2113原理:每天轮流接通一户5261电表,开机通4102电时第一户电表随机产生1653,达到公平分摊电费的目的。均分器(公用电均分器 公共用电均分器 用电分配器 电能分配器):多见于将公共楼道用电所消耗的电能(如楼道灯,对讲防盗门等),自动分配到各受益用户的电表中。每天轮流接...
  • 万源表的工作原理是什么万用表的工作原理是...
    • 2024-05-25 08:41:55
    • 提问者: 未知
    数字万用表工作原理与指针万用表工作原理相同,准确的说是测量原理相同,测量直流电压也是通过内部电阻串联分压提高测量量程,测量直流电流原理也是通过内部电阻并联分流提高...
  • 感应卡工作原理
    • 2024-05-25 13:26:05
    • 提问者: 未知
    感应卡即非接触ic卡,它是世界上最近几年发展起来的一项新技术,它成功地将射频技术和ic卡技术结合起来,解决了无源(卡中无电源)和免接触这一难题,是电子器件领域的一大突破;感应ic卡与读写设备交换数据,来完成ic卡的全部或部份功能的一种卡片,是ic卡与射频识别技术结合的产物,属非接触式ic卡(又称射频卡)。  一般它是由感应线圈,微型芯片及卡面及支撑材料组成。感应卡无需专门的供电电源;它与读写器间无...
  • 变压器的组装原理 工作原理
    • 2024-05-25 16:07:42
    • 提问者: 未知
    干式变压器工作原理和制造技术干式变压器,和所有变压器一样,遵循电和磁耦合的使用产生任何所需的电压技术的基本物理原则:当波动电流通过导线的电流流过,它会产生变化的磁场或周围的“磁”。当磁场周围的电线上的波动,它产生的电流在电线。因此,如果第二线和第一线内有波动的磁场,放在旁边,电流是在第二线诱发流动。因此,电力是“通过”,从第一第二导线,没有实际接触的两根导线。在所有的变压器,包括干式变压器,电线,...
  • 洗碗机的工作原理
    • 2024-05-25 00:00:26
    • 提问者: 未知
    一、洗碗2113机可分篮传式洗碗5261机、超声波洗碗机,各自的4102工作原理如下: 一、1653篮传式洗碗机 其工作原理是将溶解了洗涤剂的热水高速射向待清洗的厨具,洗涤后排水,然后换清水清洗,使用洗碗机,不仅可以把各种餐具洗干净,而且还能够起到烘干、消毒、减少细菌交叉污染的作用。鉴于...
  • 电焊机工作原理(详细)及工作原理图
    • 2024-05-25 10:52:39
    • 提问者: 未知
    系利用电感的原理做成的、电感量在接通和断开时会产生巨大的电压变化,利用正负两极在瞬间短路时产生的高压电弧来熔化电焊条上的焊料.来达到使它们结合的目的。在焊条和...
汇率兑换计算器

热门推荐
热门问答
最新问答
推荐问答
新手帮助
常见问题
房贷计算器-九子财经 | 备案号: 桂ICP备19010581号-1 商务联系 企鹅:2790-680461

特别声明:本网为公益网站,人人都可发布,所有内容为会员自行上传发布",本站不承担任何法律责任,如内容有该作者著作权或违规内容,请联系我们清空删除。