我国在光刻机研制方面是否有专业的研发机构或团队?

晓璐233414675 2024-05-25 06:59:06
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我回答的题目是:光刻机专业研发机构:急待提升专业力,尤需增强内驱力题目中的“光刻机专业研发机构”,单指上海微电子及其配套企业,是我国光刻机应用技术研发和创新的主体。... 20210311
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