**的光刻机现在达到多少纳米了?

国家退堂鼓一级表演家 2024-05-05 19:03:17
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asml怎么可能突然宣布愿意给**出售euv了,肯定是国内光刻机技术有了大的突破!另外在刻蚀机方面,国内中微半导体的5nm级别等离子刻蚀机似乎已经开始交付芯片制造商了,中微创始人说交付刻蚀机后大约5年就能看到5nm芯片量产上市了 20210311
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