我国的光刻机开发得怎么样了?

段瑞奇 2024-05-19 15:47:37
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光刻机龙头公司 asml 从 1999 年开始 euv 光刻机的研发工作,原计划在 2004 年推出产品。...所谓制程,平时我们说的7nm、3nm都是指集成电路晶体管的mosfet栅极的宽度。... 20210311
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