请问如何刻蚀cvd生长的石墨烯?到微米量级即可?

C&C 2024-05-30 06:10:32
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1:通过光刻或电子束曝光在石墨烯表面制备掩膜,然后通过氧等离子体刻蚀完成图形转移. 20210311
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