为什么全球只有asml才能生产光蚀刻机?

蓝月暄 2024-05-15 14:24:35
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接触式光刻机(aligner,代表厂家有美国abn,德国suss 为主)...其实整个产业已经被asml垄断,从零部件到设备软件系统都有asml强力的专利垄断以及整个供应链独一无二的掌控!... 20210311
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