为何集成电路的制造用光刻而不用电子刻?

情深缘浅 2024-05-25 05:04:07
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光刻的优点是更加方便,而且关键是比较精致,而且在尺度上也可以精确到纳米级,而这些都是电子刻所无法比拟的。 20210311
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