外延片和晶圆的区别半导体的外延片和晶圆的区别?

y呦呦。 2024-05-26 14:10:43
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晶圆是就是wafer,就是基材.外延片,是在wafer基础上做的epi工艺.这样出来的wafer 就是epi wafer,也叫外延片 20210311
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