光刻机为什么**人自己不会做,核心技术是什么

化妆师-陈月婷 2024-05-14 21:53:10
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光刻机**能,但是精度不如国外。**科学院成都光机所十五所,造接近接触式光刻机。上海微电子装备有限公司能够制造投影式光刻机。在led、ic后道和平板显示的微米级光刻机都有不少销量。ic前道光刻机分辨力要求较高,目前只能制造百纳米或几十纳米级别光刻机,而国外已经推出13纳米的光刻机了。核心技术包括投影物镜、精密运动台和精密测量系统等。对于最先进的光刻机,关键的镜片、传感器和电机等依靠进口。 20210311
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