物理气相沉积方法有哪些?其原理是什么?

大众神经? 2024-05-30 12:12:07
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物理气相沉积方法有哪些?其原理是什么?物理气相沉积的主要方法物理气相沉积(physical vapor deposition,pvd)技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源-固体或... 20210311
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