硅片制备的切割

小蜗牛 2024-05-30 08:59:23
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也称切片,把硅单晶棒切成所需形状的硅片(如圆片)的工艺。切割分多线切割、外圆切割、超声切割、电子束切割和普遍采用的内圆切割等。 20210311
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