磁控溅射所用的靶材用哪些类型,形状,溅射对靶材有哪些性能要求

喵. 2024-05-02 07:51:20
最佳回答
1.靶材短靶材成了负瞬间就会产生巨大的热由于纯铝的熔低,只有660摄氏度,不但在外力的下靶材变形,局部还会达到熔点,形成溶洞;2。即便靶材不短路,如果冷却系统出现问题铝靶材也容易变形;3.磁控溅射镀膜电源保护性功能差,超载后不能及时自动停止工作。 20210311
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