光学膜片为什么要使用氮气?

我就是我 2024-05-14 20:56:14
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一般有2个用处,1,冲氮气防氧化,作为惰性气体来用 2,溅射时加rf源充当活性剂来用,例如si的靶材,冲n2加rf源,镀sinx,这东西是一种超硬膜。 20210311
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