靶材的发展

、27岁 2024-05-23 21:13:37
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各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成 电路(vlsi)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等 方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代 以来,溅射靶材及溅射技术的同步发展,极大地满足了各种新 型电子元器件发展的需求。例如,在半导体集成电路制造过程中,以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝 膜布线... 20210311
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