国内做pvd靶材的公司有哪些?

??꧁༺美媳.美妈༻꧂ 2024-06-04 11:02:05
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1.靶材的纯度,可以用化学分析法谱能量测定法等方法检验;2.度:要求晶粒越细小。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验;3.密度:原则上,靶材的密度越高越好。密度越高,晶粒间隙越小,压制紧密,靶材质量越好。可以用称量法检验;4.组织均匀性:对于两种成份以上的合成靶,特别是相互难融的成分,还可以做金相检验,看成分、组织是否均匀一致;5.机械性能:有些靶材,如有色金属等可以要求一下。石墨靶,高级一点的,也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。具体密度值,要查相应手册啦。一般供应商也会提供。 20210311
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