中芯国际为什么非要买7nm的euv光刻机呢,7nm的duv光刻机不是一样能用吗?

…… 2024-05-21 06:44:49
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第一个革新,就是immersion,也就是浸润式光刻:纯水的折射率有1.5,在projection system的最后一个镜头和硅晶圆(wafer)...能不能赚钱也不好说,毕竟斯米克是上市公司不是... 20210311
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