半导体制程,经历了哪些重大的发展节点?

卡西莫多 2024-05-24 17:46:21
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目前的主流生产工艺采用荷兰艾斯摩尔生产的步进式光刻机,所使用的光源是193nm的氟化氩(arf)分子振荡器(这个名称记不清了)产生的,被用于最精细的尺寸的光刻步骤。... 20210311
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