磁控溅射靶材的原理是什么?

Sialydia? 2024-05-31 07:17:40
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磁控溅射原理:在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为ar气),永久磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,... 20210311
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