半导体设备领域国内哪项与国外差距最小?光刻机,刻蚀机,显影机,镀膜机,注入机?

ven 2024-05-31 14:43:58
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做的可以实战的是北方微电子的pvd,可以用于28nm的hard mask工艺,并且可以量产,和amat相比...上海另有一家耗材公司新阳,虽然上市但是在高端工艺上的技术水平始终没有突破。... 20210311
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