为什么管式pecvd(ct)在做156单晶(做双层膜),在第二次镀膜时候射频电源(功率6800)会报警啊?

龙之泉苕粉 2024-05-28 20:43:13
最佳回答
是什么报警?反射过大吗?如果发射过大,建议增加stable步,原因是等离子体阻抗突变引起的。 20210311
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