物理气相沉积为什么要在真空的条件

振峰 2024-05-27 15:26:25
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物理气相沉积是通过蒸发,电离或溅射等过程,产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方法有真空镀,真空溅射和离子镀三种金属加热至蒸发温度。然后蒸汽从真空室转移,在低温零件上凝结。该工艺在为何真空中进行,主要是金属蒸汽到达表面时因为真空而不会氧化。 20210311
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