mems是怎样的技术,哪些已经民用了?

豆荚娱乐 2024-05-23 02:22:14
最佳回答
若单个mems传感器芯片面积为5 mm x 5 mm,则一个8英寸(直径20厘米)硅片(wafer)可切割出约1000个mems传感器芯片(图1),分摊到每个芯片的成本则可大幅度降低。因此mems商业... 20210311
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