物理气相沉积的详述

Super wang 2024-05-18 23:14:27
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展开全部(一)真空蒸镀原理 (1)真空蒸镀是在真空条件下,将镀料加热并蒸发,使大量的原子、分子气化并离开液体镀料或离开固体镀料表面(升华)。(2)气态的原子、分子在真空中经过很少的碰撞迁移到基体。(3)镀料原子、分子沉积在基体表面形成薄膜。(二)蒸发源 将镀料加热到蒸发温度并使之气化,这种加热... 20210311
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